개요
기술 사양
제품 장점
제품 응용
제품 개요
EBM30N/TEG는 열전자 방출 주사 전자 현미경(SEM)용으로 특별히 설계된 통합 고전압 전원 솔루션입니다.
이 장치는 가속기, 필라멘트, 바이어스, PMT, 싱키레이터 및 컬렉터 전원을 포함한 여러 개의 저노이즈 및 초안정 출력을 제공합니다.
스펠만의 독자적인 패키징 기술은 기존 SEM 전원 공급 장치에 비해 더 작은 크기, 더 낮은 노이즈, 그리고 더 높은 성능을 보장합니다.
차동 아날로그 프로그래밍과 종합적인 보호 메커니즘은 SEM의 안전하고 신뢰할 수 있는 운전을 보장합니다.
기술 사양
| 항목 | 사양 |
| 입력 전원 | +24VDC ±5%, 최대 2.5A |
| 가속 전압 | 0에서 −30kV, 170µA; 초안정, 저리플 |
| 편향 취소 | 0에서 +3.5kV, 150µA; 가속기 기준 |
| 필라멘트 공급 | −1.936 to +1.936V, 최대 3.87A; 필라멘트 고장 모니터링 |
| PMT 고전압 | 0에서 −1300V, 최대 250µA |
| 시린터 고전압 | +8kV에서 +11kV, 최대 1mA |
| 수집가용 공급 | 30V에서 500V, 최대 5mA |
| 커넥터 | 클레이마운트 CA11 미니 75(가속기); BNC.HT(PMT/컬렉터); 스펠만 맞춤형(시너타이저); JST(I/O) |
| 운영 온도 | 0°C에서 +45°C |
| 보관 온도 | −20°C에서 +75°C |
| 습도 | 0–85% 상대습도, 결로 없음 |
| 치수 | 105 × 250 × 190 mm |
| 무게 | 7.5kg |
| 인증 | UL, CE, UKCA, RoHS; IEC/UL 61010-1 준수 |
제품 장점
● 열음극형 SEM 삼극관 시스템 전용 설계
● 극도로 높은 정밀도, 저노이즈 및 높은 안정성
● 다중 출력 통합 모듈로 시스템 크기와 비용을 절감합니다.
● 완전한 보호: 과전압, 과전류, 아크 및 단락
● 우수한 노이즈 내성 위한 차동 프로그래밍
● 전 세계 인증으로 손쉬운 통합
● 맞춤 제작 가능
제품 응용
● 열음극 주사 전자 현미경(SEM)
● SEM 시스템용 교체/업그레이드 전원 모듈
● 과학 및 교육용 전자현미경
● 전자빔 이미징 장비
● PMT 및 신틸레이터 검출기 전원 공급 장치
● 고정밀 전자광학 장비
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