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PE-100 시리즈

PE-100 시리즈

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개요

기술 사양

제품 장점

제품 응용

제품 개요

PE-100 시리즈는 강력한 성능과 높은 정밀도를 동시에 갖춘 바닥형 주사전자현미경(SEM)입니다. 고성능 텅스텐 필라멘트 소스를 채택하여 뛰어난 고해상도 이미징 및 분석 결과를 제공하며, 미세한 현미경 세계의 가장 세밀한 구조까지 놀라운 선명도로 드러냅니다.

기술 사양

결의 3.0 나노미터
전압 1 kV ~ 30 kV
무대 5축 전동 스테이지
무대 여행 XYZ: 50 mm x 50 mm x 50 mm
T: -20°~ 45°
R: 360°
최대 표본 크기 D: 140 mm, H: 45 mm
표준 탐지기 ET-SE
챔버 CCD
광학 항법 카메라
옵션 학사
EDS, EBSD, 기타

제품 장점

● 고품질 이미징: 유연한 SE 및 BSE 이미징
● 듀얼 내비게이션 시스템: 챔버 카메라 + 광학 내비게이션
● 접이식 BSE 탐지기: 더 빠르고 더 안전합니다
● 스마트 운영: 직관적인 다국어 GUI를 통한 자동화된 워크플로우
● 손쉬운 유지보수: 사전 중심화된 텅스텐 필라멘트로 빠른 교체 가능
● 강력한 확장성: LV 모드, EDS, EBSD 및 기타 액세서리

제품 응용

반도체 칩 - 스케일 프리
층이 있는 금속 메쉬 100X - 폼 금속
500X 층을 갖춘 금속 메쉬 - 폼 금속

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