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PE-100 시리즈
PE-100 시리즈
개요
기술 사양
제품 장점
제품 응용
제품 개요
PE-100 시리즈는 텅스텐 필라멘트 전자원을 탑재한 고성능 주사전자현미경(SEM)입니다. 안정적인 이미징 성능과 높은 정밀도를 갖추고 있어 재료 연구, 반도체 분석, 배터리 소재 분석 및 산업 품질 검사 등 다양한 분야에 적합합니다.
대형 챔버와 5축 전동 스테이지를 통해 다양한 크기의 시료를 효율적으로 관찰할 수 있으며, 직관적인 조작 환경과 확장 가능한 분석 옵션을 제공합니다.
기술 사양
분해능: 3.0 nm
가속 전압: 1 kV ~ 30 kV
스테이지: 5축 전동 스테이지
스테이지 이동 범위:
X/Y/Z: 50 mm × 50 mm × 50 mm
T: -20° ~ 45°
R: 360°
최대 시료 크기: D 140 mm, H 45 mm
표준 검출기: ET-SE
챔버 CCD: 지원
광학 내비게이션 카메라: 지원
옵션: BSE, EDS, EBSD 등
제품 장점
• 고해상도 SE 및 BSE 이미징 지원
• 챔버 카메라와 광학 내비게이션을 통한 듀얼 내비게이션 지원
• 접이식 BSE 검출기를 통한 안전하고 효율적인 분석
• 직관적인 다국어 GUI와 자동화된 워크플로우 지원
• 사전 정렬된 텅스텐 필라멘트 구조로 유지보수 편의성 향상
• LV 모드, EDS, EBSD 등 다양한 확장 옵션 지원
제품 응용
재료 연구
반도체 분석
배터리 소재 분석
금속 및 세라믹 미세구조 관찰
고분자 및 복합소재 분석
표면 형상 및 결함 분석
산업 품질 검사
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