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개요
기술 사양
제품 장점
제품 응용
제품 개요
마그네트론 이온 스퍼터링 코터는 마그네트론 스퍼터링 기술을 활용하여 고품질의 금속 박막 증착을 수행하도록 설계되었습니다. 이 장비는 시료 표면에 균일한 금속 코팅을 가능하게 하며, 재료과학, 전자현미경 시료 준비 및 반도체 공정 분야에서 널리 사용되고 있습니다.
기술 사양
| 사양 | 세부 정보 |
| 진공 시스템 | 로터리 기계식 펌프(고출력) |
| 궁극의 진공 | 2 Pa |
| 펌핑 속도 | 50Hz: 8 m³/h; 60Hz: 9.6 m³/h |
| 스퍼터링 전류 | 최대 100 mA |
| 스퍼터링 압력 | 20 파스칼 – 8 파스칼 |
| 진공 시간 | |
| 진공 게이지 | 디지털 게이지, 범위 2×10³ mbar |
| 코팅 재료 | 니켈, 금, 은, 백금 |
| 필름 두께 | 50 - 120 nm (두께 측정기 필요) |
| 표본 크기 | 지름 ≤ 50 ± 0.1 mm (단층) |
| 샘플 수량 | 1 조각 |
| 전원 공급 장치 | AC 220V / 50Hz |
| 전력 소비 | |
| 냉각 방법 | 수냉(옵션) |
| 치수 | 360 × 300 × 380 mm |
| 무게 | 45 kg |
제품 장점
안정적이고 균일한 코팅을 위한 마그네트론 스퍼터링
다양한 금속 재료와 호환됩니다.
연구 및 교육용으로 간편한 조작
효율적인 워크플로를 위한 고속 진공 펌핑
제한된 실험실 공간에 적합한 컴팩트한 설계
향상된 안정성을 위한 옵션 워터 쿨링
제품 응용
재료 연구 및 표면 처리
전자현미경 시료 준비
반도체 소자 제작
금속 박 전극 제작
대학의 실험실 교육 및 연구
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